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鍍膜儀配有兩路高精度質(zhì)量流量計(jì)，客戶若另有需求可以定制至多四路質(zhì)量流量計(jì)的氣路，以滿足復(fù)雜的氣體環(huán)境構(gòu)建需求；儀器標(biāo)配先進(jìn)的渦輪分子泵組，極限真空可達(dá)1.0E-5Pa，同時(shí)另有其他類型的分子泵可供選購。分子泵的氣路由多個(gè)電磁閥控制，可以實(shí)現(xiàn)在不關(guān)泵的情況下打開腔體取出樣品，大大提高了您的工作效率。本產(chǎn)品可以選配一體機(jī)工控電腦對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行控制，在電腦程序上可以實(shí)現(xiàn)真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數(shù)功能，可以進(jìn)一步提高您的實(shí)驗(yàn)效率。
三靶磁控鍍膜儀應(yīng)用范圍：
該設(shè)備可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。該三靶磁控濺射鍍膜儀與同類設(shè)備相比，其不僅應(yīng)用廣泛，且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn)，是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備。三靶磁控鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱
三靶磁控濺射儀---靶槍下置（英文操作界面）
產(chǎn)品型號(hào)
CY-MSP300S-2DC1RF
濺射電源
安裝有2個(gè)直流，一個(gè)射頻
直流（DC）電源：500W 射頻: 300W
真空腔體
真空腔體：450 mm Dia x 450 mm h，采用不銹鋼制作觀察窗口： 100 mm diameter
磁控濺射頭
儀器中安裝有3個(gè)3英寸磁控濺射靶槍（其中的一支是強(qiáng)磁靶，2支永磁靶），而且都帶有水冷夾層，可通入冷卻水對(duì)靶材降溫
載樣臺(tái)
載樣臺(tái)尺寸：150mm
dia.（載樣臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)，其速度為：1 - 20 rpm （可調(diào)）
載樣臺(tái)*高可加熱溫度為750℃，控溫精度為+/- 1.0 °C
氣體流量控制器
儀器內(nèi)部安裝有1個(gè)質(zhì)量流量計(jì)
量程為：0-200sccm （氬氣）
氣體流量設(shè)置可以在15.6寸屏智能控制系統(tǒng)
真空泵
配有一套分子泵系統(tǒng),采用一鍵式操作600L/S
真空計(jì)
英孚康皮拉尼真空計(jì)MPG400
測(cè)量范圍： 5 x
10-9 mbar ---大氣壓
薄膜測(cè)厚儀
石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝在儀器上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度，分辨率為0.10 ?
電壓
220V 50HZ
備注
1.3支3寸濺射靶（其中的一支是強(qiáng)磁靶，2支永磁靶）
2.1路流量計(jì)
3.不銹鋼真空腔體
4.分子泵組
5.膜厚檢測(cè)儀
6.2臺(tái)直流電源，一臺(tái)射頻電源
7.水冷機(jī)組
8.帶旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái)
9.15.6寸屏智能控制系統(tǒng)
10.空氣壓縮機(jī)
11.電控氣動(dòng)閘板閥
12.電控氣動(dòng)切斷閥
13.電控氣動(dòng)旁抽閥
14. 英孚康真空計(jì) MPG 400 測(cè)量范圍
