等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的

5L等離子清洗機(jī) 電容耦特點(diǎn)：

腔體可利用面積大，起輝均勻，可清洗6英寸硅片。

5L等離子清洗機(jī)電容耦合技術(shù)參數(shù)：

主要部件	指標(biāo)名稱	參數(shù)指標(biāo)
清洗倉體	清洗倉材質(zhì)	SS304
	清洗倉尺寸	200x160x240mm
耦合方式	電容耦合
射 頻 電 源	電源特性	該電源為全固態(tài)射頻電源，采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件，使產(chǎn)品的可靠性得以保證。
	電源優(yōu)勢(shì)	●可長時(shí)間正常運(yùn)行 ● 操作簡單靈活 ● 電源效率高、發(fā)熱少 ● 具有完善的反射功率保護(hù)功能
	射頻功率	0~300W連續(xù)可調(diào)
	信號(hào)頻率	13.56MHz ±0.005%
	反射功率	≤100W
	功率穩(wěn)定度	±0.1%
	射頻接頭	N型頭
	整機(jī)效率	≥75%
	諧波分量	≤-50 dBc
	冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
氣 體 測(cè) 量	測(cè)量部件	兩路質(zhì)量流量計(jì) Ar 0~200sccm； O2 0~200sccm 可定制 其他參數(shù)參考之前的產(chǎn)品
	氣體通道	兩通道
	A通道量程	10～100ml
	B通道量程	16～160ml
真 空 獲 取	真空測(cè)量	數(shù)字真空計(jì)（電阻規(guī)）
	真空抽取	雙極旋片泵
	電機(jī)轉(zhuǎn)速	50Hz時(shí)為：1440；60Hz時(shí)為：1720。
	抽氣速率	50Hz時(shí)為：240L/Min；60Hz時(shí)為：288L/Min。
	真空量程	0.1Pa～10000Pa
	極限真空	0.5Pa
	電機(jī)噪音	≤56dB
	管道接口	進(jìn)氣口：KF16;排氣口KF16.
	連接管道	KF16真空波紋管
	真空閥門	KF16球閥
	電機(jī)功率	400W
其 它	供電電源	AC220V 50/60Hz
	整機(jī)功率	800W
	使用溫度	-10℃ -- 40℃
	工作真空	≤40Pa
	整機(jī)尺寸	600mmX650mmX560mm
	整機(jī)重量	80kg（含包裝）