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卷對卷式PECVD是等離子增強型化學氣相沉積設備（PECVD），并加裝了收放卷裝置。本設備可用于線材的連續化熱處理工藝中，如碳纖維制備、合金及其他材料線材改性處理等應用中。也適合用于石墨烯在卷材上的連續生長。
設備含卷對卷收放卷運動模塊、1200℃雙溫區可開啟式管式爐模塊、PE等離子增強模塊、真空系統以及三路質子流量計供氣系統五部分，整套體系可在真空/氣氛保護環境下工作。收放卷機構轉速從1~400mm/min可調,機構采用反饋調節，可自動糾正轉速偏差，保證樣品的速度穩定不走樣，從而保證了實驗的準確性
卷對卷式PECVD技術參數：
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1200℃ 雙溫區管式爐 |
供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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*大功率 |
3KW |
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加熱溫區 |
雙溫區 200mm+200mm |
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工作溫度 |
≤1200℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條 |
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爐管材質 |
高純石英 |
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爐管尺寸 |
φ80mm I.D x 1400mm L |
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密封方式 |
不銹鋼真空法蘭 |
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真空測量 |
電阻規 |
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工作氣體 |
氫氣、氮氣、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體 |
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真空泵 |
雙極旋片式真空泵 |
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極限真空度 |
10^-1Pa |
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三路質量流量計 |
閥門類型 |
不銹鋼針閥 |
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氣路數量 |
三路 |
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承壓范圍 |
0.05~0.3MPa |
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量程 |
1~100 SCCM（Ar） 1~200 SCCM（H2） 1~500 SCCM (CH4) |
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流量控制范圍 |
±1.5% |
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混氣罐容積 |
750mL |
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氣路材料 |
304不銹鋼 |
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管道接口 |
6.35mm卡套接頭 |
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供電電源 |
AC220V 50Hz |
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S射頻電源 |
輸出功率 |
500W |
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輸出精度 |
±1% |
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射頻頻率 |
13.56MHz |
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射頻穩定度 |
±0.005% |
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冷卻方式 |
風冷 |
