項目

明細

供電電壓

AC220V，50/60Hz

*大功率

10KW

結構

采用兩個溫度控制器,分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計,可向真空腔體中通入氣體

基本參數

工作溫度:*高800C推薦加熱速率: ≤10C/s (每個溫區單獨加熱)

控溫精度

由兩組紅外燈管作為加熱元件,分別位于頂部和底部為了減少熱量輻射和達到較快的冷卻速率,加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中(不銹鋼殼體采用316不銹鋼.采用導熱率較高的氮化鋁陶瓷片(5" X5^ Xo. 5nn]厚度)作為載樣臺，以達到較好的加熱均勻性●底部載樣臺.上可放入5° X5*的石墨坩堝來盛放蒸發原料

溫控系統

兩個精密的溫控系統分別獨立控制上下兩個加熱區，可設置30段升降溫程序每個溫控系統都帶有超溫和斷偶保護. PC通訊接口,軟件可安裝，可將控溫程序和溫度曲線導入到電腦中

測溫元件

兩個K型熱電偶. ,安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸

使用注意事項

爐管內氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-O.1MPa,使用時會更加****

爐管內氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-O.1MPa,使用時會更

加****

當爐體溫度高于1000C時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

. 石英管的長時間使用溫度< 1100C

對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于

0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生( 如爐管破裂,法蘭飛出等)

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊. 石英管的長時間使用溫度< 1100C

0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生( 如爐管破裂,法蘭飛出等)

開蓋方式

電動升降上蓋

流量計

兩路浮子流量計